基于自主知识产权，深入开展片上集成硅基微纳电子源制作工艺标准化及应用开发。具体包括实现微加工工艺标准化及高成品率小批量器件制作（40-50个/2英寸）；器件芯片切片和引线封装、性能检测、电子发射性能及可靠性优化的标准化工艺；尝试器件与目标应用设备联机测试，研发器件应用方案；建立应用推广模式，促进器件实用化和产品化。

本成果器件可在新一代微型化航空航天及国防装备（中和器/质谱仪/微波管）上获得应用；满足我国航空航天信息电子系统微型化发展的应用需求。此外，在高端商用设备（医用小型 X 射线源/电子束微加工设备/超高真空计）上替代目前常用的非集成电子源和热阴极电子源，满足电子系统的低功耗、轻小型化需求，实现高端装备核心部件之一的国产化。