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广东省科学院新材料研究所
本发明公开一种高温抗氧化自润滑多层涂层及其制备方法。该涂层依次由在基体(1)上的打底层(2)和交替多层(3)组成,所述交替多层(3)是由AlCrSiN层(4)和MoAlSiN层(5)依次叠加构成。制备方法由基体清洗,离子溅射清洗,采用电弧离子镀沉积打底层和交替多层步骤组成。
指导单位:广东省市场监督管理局(知识产权局)
承办单位:广东省知识产权保护中心
技术及运营支持:万厂网(广东)电子商务科技有限公司
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